联系人：刘东（先生）
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晶圆片落座检测微型光电传感器
用于圆晶片托架落座检测的微型光电传感器
·依靠与导槽并用，设定落座位置。
·圆晶片托架的接触面采用氟树脂，防化学性能优越。
·独特的光学结构，可稳定检测几乎所有圆晶片。
·抗外来光干扰的变调光式。
·电线使用净化电线(无粉尘)。
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